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掃描電子顯微技術(shù)SEM應(yīng)用原理

更新時(shí)間:2018-09-11 點(diǎn)擊次數(shù):2206

掃描電子顯微技術(shù)SEM


分析原理:用電子技術(shù)檢測高能電子束與樣品作用時(shí)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線等并放大成象


譜圖的表示方法:背散射象、二次電子象、吸收電流象、元素的線分布和面分布等


提供的信息:斷口形貌、表面顯微結(jié)構(gòu)、薄膜內(nèi)部的顯微結(jié)構(gòu)、微區(qū)元素分析與定量元素分析等

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